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四氟化硅的沸点是负65摄氏度。四氟化硅,也叫氟化硅,分子量为104、06。它的分子形状为正四面体形,密度是1、590,四氟化硅为无色、有毒、有刺激性臭味的气体,吸湿性非常强,容易潮解,在潮湿空气中可产生浓烟雾。因此,储存时需要避免强酸,避免潮湿空气。
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